从误差理论来分析手持式三维扫描仪测量误差可分为系统误差和偶然误差，系统误差引起三维激光扫描点的坐标偏差，可通过公式改正或修正系统予以消除或减小。测量系统的偶然性误差是一些随机性误差的综合体现。

 

激光测距的影响

激光测距信号处理的各个环节都会带来一定的误差，特别是光学电子电路中激光脉冲回波信号处理时引起的误差，主要包括扫描仪脉冲计时的系统误差和测距技术中不确定间隔的缺陷引起的误差，脉冲计时的系统误差造成循环，混淆现象与测距的凸角误差相类似。测距技术中不确定间隔更可能造成数据突变，目前，可运用一些较好的技术处理这种突变的误差，激光测距误差综合体现为测距中的固定误差和比例误差，可以通过仪器检定确定测距误差的大小。

 

扫描角的影响

手持式三维扫描仪扫描角的影响包括水平扫描角度和竖直扫描角度测量的影响，扫描角度引起的误差是扫描镜的镜面平面角误差，扫描镜转动的微小震动，扫描电机的非均匀转动控制误差等因素的综合影响"。目前扫描角测量可达很高的精度。

 

目标物体反射表面粗糙程度的影响

手持式三维扫描仪的精度与物体表面的粗糙程度有密切关系，由于三维激光回波信号有多值性特点。有些三维激光扫描系统只能处理反射回来的回波信号，有些三维激光扫描系统只能处理反射回来的回波信号，也有一些三维激光扫描系统能够综合处理和反射回来的回波信号。